液环真空泵使用注意事项

液环真空泵是一种真空泵，可用于改变泵室的容积，通过泵腔内的偏置叶轮旋转运动来实现真空泵的抽吸。它的工作室由旋转液体环和叶轮组成，其结构和工作原理与液环压气机相似。抽吸口是在工作时从真空容器中取出的。液环真空泵使用注意事项

在选择真空泵时，应注意下列事项:

1。真空泵的压力应满足真空设备和压力要求。例如，真空镀膜要求真空度为1 x 10-5mmhg，真空真空泵的真空度至少为5 x 10-6mmhg。通常情况下，泵的真空度比真空度高一半以上：

2。正确选择真空泵的操作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如:扩散泵是10-3-10-7mmhg。在如此大的压力范围内，泵的泵送速度随压力而变化，其稳定的工作压力范围是5 x 10-4-5 x 10-6mmhg。因此，泵的操作点应该在这个范围内选择，而不是让它在10-8mmhg上长期工作。钛升华泵可以在10-2mmhg下工作，但其工作压力应该小于1-10-5mmhg：

3。真空泵应该能够排放出真空设备过程中产生的气体总量：

4。真空泵的正确组合。由于真空泵有选择性抽吸，所以有必要选择一个泵不符合泵的要求，并且需要几个泵来满足排气要求。比如氢钛升华泵抽速高,但它不能把氦,溅射离子泵和三极类型,类型(或两个极其不对称阴极溅射离子泵)氩泵送速度在一定程度上,这两个在一起,使真空装置会好真空度。另外，一些真空泵不能在大气压力下工作，需要真空;一些真空泵的出口压力低于大气压力，这需要前泵。因此，泵必须结合使用：

5。真空设备对石油污染的要求。如果设备严格不需要石油,我们应该选择各种水泵、水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵,等等。如果要求不严格,可以选择有油泵,添加一些anti-oil污染措施,如果添加冷阱、折流板、隔油池等,也可以达到清洁真空要求：

液环真空泵使用注意事项

6。当你选择真空泵时，你需要知道气体的组成，并选择相应的泵来抽气。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，应考虑在泵的进口管道上安装辅助设备，如冷凝器和除尘器：

7。真空泵的油蒸汽如何影响环境。如果环境不允许被污染，你可以选择无油真空泵，或者把油蒸到外面：

8。真空泵产生的振动对过程和环境没有影响。如果过程不允许，应选择无振动的泵，或采取反振动措施：

9。真空泵的价格、运行和维护：